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产品名称 |
产品介绍 |
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离子泵 |
极限真空3x10-9Pa，与国际知名产品性能相当，性价比高。三井离子泵名义抽速均指真空度在10-6Pa量级时的有效抽速。 |
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钛升华泵 |
无油、无震动、无电磁场；在UHV时提供大抽速，和SIP联合抽气极限压强可达到10-10Pa；重量轻，更换钛丝和维修方便。 |
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saes吸气剂泵 |
无油、无震动、无电磁场；抽速和压强无关，和SIP联合抽气极限压强可达到10-10Pa；抽速体积比高，抽速价格比高；激活后室温抽气无需电源。 |
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（SIP+NEG）复合泵 |
复合泵结合了离子泵和吸气剂泵的优点，互补了两者的缺点，具有了全新的特点。 |
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